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Sungwa B200系列

分(fēn)享到(dào)微(wēi)信

×
PR Stripper
Solvent
Nit Removal
Reclaim
Metal Etching
Pre-clean
Wafer thinning
Backside Clean
Liftoff/PR Stripper
産品詳情

Application(應用(yòng))

PR stripper、Nit Stripper  Pr≤↓£≤e Clean 、 B-Clean α♣ε Metal Removal

Post Ash Polymer Removal


Performance(工(gōng)藝)

PA adder, <30ea @ 0.2'∑£um  u% <8% of oxide etc←←∏±hing  SECS GEM, RMS, IE£ "MS, FDC

Scheduler


Advantage(競争優勢)

Localized Software Team

Tech Covered for 100~300mm Process Needs&nbs≥ λp; Owned Tech of Cassette and Cass≈ ♠™ette-less Bench


Safety(安全)

Semi S2/S6/F47 Certification

FM approval material and CO2 fire ‍♦¶≈extinguisher  Interlock Matrix Control


Sungwa B200系列Sungwa B200系列Sungwa B200系列Sungwa B200系列Sungwa B200系列Sungwa B200系列
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Metal Etching
Pre-clean
Wafer thinning
Backside Clean
Liftoff/PR Stripper
18013136823
産品詳情

Application(應用(yòng)÷♥‌←)

PR stripper、Nit Stripper  P♦♣βδre Clean 、 B-Clean  Metal R‌✔emoval

Post Ash Polymer Removal


Performance(工(gōng)藝)

PA adder, <30ea @ 0.2um  u≠★% <8% of oxide etching  SECS GEM, RMS,✔☆Ω‍ IEMS, FDC

Scheduler


Advantage(競争優勢)

Localized Software Team

Tech Covered for 100~300mm Process Needs ₽↓; Owned Tech of Cassette and Cassette-less Bench


Safety(安全)

Semi S2/S6/F47 Certificat<→ion

FM approval material and¥‌∑≈ CO2 fire extinguisher  InterlockΩ®α Matrix Control


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