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Sungwa B100系列

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PR Stripper
Solvent
Nit Removal
Reclaim
Metal Etching
Pre-clean
Wafer thinning
Backside Clean
Liftoff/PR Stripper
産品詳情

Application(應用(yòng))

PR stripper、Nit Stripper  P¶♣≈φre Clean 、 B-Clean  Metal δⱩRemoval

Post Ash Polymer Removal


Performance(工(gōng)藝)

PA adder, <30ea @ ♠¶ 0.2um  u% <8% of oxide etchi→∑αng  SECS GEM, RMS, IEMS, FDC

Scheduler


Advantage(競争優勢)

Localized Software Team

Tech Covered for 100~3↕ ®γ00mm Process Needs  Owned Tech of Cassettδ≥e and Cassette-less Bench


Safety(安全)

Semi S2/S6/F47 Certification

FM approval material¥←≤ and CO2 fire extinguisher  Interlock Matr↓×ε×ix Control


Sungwa B100系列Sungwa B100系列Sungwa B100系列Sungwa B100系列Sungwa B100系列Sungwa B100系列
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Backside Clean
Liftoff/PR Stripper
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Application(應用(yòng))

PR stripper、Nit Stripper Ω∏₽≠ Pre Clean 、 B-Clean  Metal Remoπφ$val

Post Ash Polymer Removal


Performance(工(gōng)藝)

PA adder, <30ea @ 0.2um&π→nbsp; u% <8% of oxide etching §♠₹ SECS GEM, RMS, IEMS, FDC

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Advantage(競争優勢)

Localized Software Team

Tech Covered for 100~300mm Process Needs  ​₹'↕Owned Tech of Cassette and Cassette≥✘£-less Bench


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