主要(yào)功能(néng)：本設備用(yòng)于石英爐管及零件(jiàn)的(de)清洗，↓$通(tōng)過PLC控制(zhì)相(xiàng)應的(de)泵✘<、閥，可(kě)在自(zì)動或手動模式下(xià)清洗12英寸雙層面石英管（包括不(bβ×ù)規則形狀）、晶舟、外(wài)管、內(nè™✔π♥i)管、點火(huǒ)筒及其他(tā)石英和(hé)SiC部件(jiàn)，進行(xεΩ>​íng)噴酸（石英管內(nèi)、外(wài)壁）、自(zì)動卸酸、DIW高(gā©€™o)壓噴射（同時(shí)石英管轉動）、氮氣吹幹等多(d¶‍±uō)個(gè)工(gōng)序一(yī)次完成以保證石英管油污、顆粒、雜(zá÷δ∞)質的(de)徹底清除，石英管的(de)清洗為(wèi)過濾循環酸洗£↑∏及DIW水(shuǐ)沖洗，設備同時(shí)能(♠δε$néng)夠滿足廠(chǎng)務動力要∑←(yào)求和(hé)滿意的(de)售後服務。