主要(yào)功能(néng)：本設備用(yòng)于石英爐管及零件(jià<§δn)的(de)清洗，通(tōng)過PLC控制(zhì)相(xiàng)應‍δ♣的(de)泵、閥，可(kě)在自(zì)動或手動模式下(xi∏Ω®à)清洗12英寸雙層面石英管（包括不(bù)規則形狀）、晶舟"<、外(wài)管、內(nèi)管、點火(h‍γΩuǒ)筒及其他(tā)石英和(hé)SiC部件(jiàn)，進→λ行(xíng)噴酸（石英管內(nèi)、外(wài)壁）、σ→£自(zì)動卸酸、DIW高(gāo)壓噴射（同時(shí)石英管轉動）、氮氣吹幹等多(d<φuō)個(gè)工(gōng)序一(yī)次完成以保證石英管油污、φ®≥₽顆粒、雜(zá)質的(de)徹底清除，石英管的(de)清洗為(wèi)過濾循環酸洗及DIW水©€'(shuǐ)沖洗，設備同時(shí)能(né•​γ ng)夠滿足廠(chǎng)務動力要(yào)求↓•ε和(hé)滿意的(de)售後服務。