成功交付 RCA 清洗機(jī)，賦能(néng)₹≠半導體(tǐ)産業(yè)新高(gāo)度

RCA 清洗機(jī)通(tōng)過多(duō)種化(hu☆π₩♥à)學溶液的(de)協同作(zuò)用(yòng)來(lái)實現(xiàn)清洗目的(de↓ε)。例如(rú)，利用(yòng)強氧化(huà)性的(de)過氧化(huà)氫與氫氧化(huà★δ)铵的(de)混合溶液，能(néng)夠有(yǒu)效去(qù)除顆粒污染物↔¶β(wù)，并在半導體(tǐ)表面形成一(yī)層緻密 ≤©¶的(de)氧化(huà)層，抑制(zhì)金(jīn)屬離(l ₽☆í)子(zǐ)的(de)吸附；而氫氟酸溶液則可(kě)精*去(qù)除氧化(huà)層φ ≈£，使半導體(tǐ)表面呈現(xiàn)出理(lǐ©®‍)想的(de)潔淨與活性狀态

參數(shù)日(rì)期：2025-02-11 12:52:05

新聞信息

日(rì)期：2025-02-11 12:52:05

作(zuò)者：芯礴科技（上海）有限公司

分(fēn)類：成功案例

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我知(zhī)道(dào)了(le)

成功交付 RCA 清洗機(jī)，賦能(néng)半導體(tǐ)産業(yè)新高(gāo)度

成功交付 RCA 清洗機(jī)，賦能(nénσ↓g)半導體(tǐ)産業(yè)新高(gā↔λβo)度

RCA 清洗機(jī)通(tōng)過多(duō)種化(huà♦★)學溶液的(de)協同作(zuò)用(yòng) ∏來(lái)實現(xiàn)清洗目的(de)。例如(rú)，利用(yòng)₹"¥★強氧化(huà)性的(de)過氧化(huà)→δ'氫與氫氧化(huà)铵的(de)混合溶液，能£₩(néng)夠有(yǒu)效去(qù)除顆粒污©↑染物(wù)，并在半導體(tǐ)表面形成一(yī)層緻密的(de)氧‌‍βΩ化(huà)層，抑制(zhì)金(jīn)屬離(lí)子(zǐ)的(de)吸附；而氫氟酸溶液則β↑可(kě)精*去(qù)除氧化(huà)層，使半導體(tǐ)表面呈現(xiàn)出理≥δ₹(lǐ)想的(de)潔淨與活性狀态

日(rì)期：2025-02-11 12:52:05

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下(xià)一(yī)篇

石英全自(zì)動清洗線成功交付！

技(jì)術(shù)特點：

多(duō)道(dào)配方選擇：采用(yòng) PLC 自(zì)動✔φ>∞控制(zhì)，設有(yǒu)多(duō)道(dào)Recipe，可(kě)滿足不$≠↔ (bù)同工(gōng)藝需求。
模式切換功能(néng)：具備手動模式和(hé)自(zì)動模式，操作(zuò)靈活Ω®∞€方便。
高(gāo)精度定位傳輸：左進右出式機(jī)械手傳輸，通(tōng)過機(jī)械和(h✘é)電(diàn)氣雙重限位卡控，保證定位精度高(gāo)、傳送平↔♥✔穩且運行(xíng)可(kě)靠。
材質類型多(duō)樣：有(yǒu) PVC/PP/SUS/Quartz/φεPVDF/PTFE 等多(duō)種材質的(de)選擇，可(kě)依據藥液性質和(hé)工(g♦&←ōng)藝要(yào)求選擇。
透明(míng)視(shì)窗(chuāng)設計(jì)：機(jī)台外(wài)殼門(mén)闆上(shà₩∞↑ ng)裝有(yǒu)透明(míng)視(shì)窗(chuāng)λ&，便于觀察內(nèi)部運行(xíng)情況。

工(gōng)作(zuò)原理(lǐ)：

噴淋：利用(yòng)高(gāo)壓水(shuǐ)快(kuài)速沖洗産品上(sε®®hàng)殘留的(de)藥液。
溢流：槽體(tǐ)邊沿成鋸齒形，槽內(nèi)純水(shuǐ ₽≤©)一(yī)直溢流，以保持清潔。
循環：通(tōng)過循環泵使槽內(nèi)藥液保持流動狀态，提高(gāo) ©清洗效果。
盤管冷(lěng)卻：槽內(nèi)的(de)冷(lěng)卻盤管可(kě)以保證高(gāo)溫排液時(shí)✘φ±≈的(de)溫度冷(lěng)卻。
超聲清洗：利用(yòng)超聲波的(de)強力沖擊效應，清洗附著(zhe)在産λ₽§品表面的(de)物(wù)質。
IPA烘幹：通(tōng)過利用(yòng)異丙醇的(de)物(wù)理(lǐ)特性以及不(bù)同液≠™φ♠體(tǐ)之間(jiān)的(de)相(xiàng)互作(™™zuò)用(yòng)使産品表面殘留水(shuǐλ ↕)漬快(kuài)速烘幹。