本設備的(de)功能(néng)主要(yào)是(shì)利用(y€≠×βòng)機(jī)械臂升降裝置,酸腐蝕系統,循環過濾•σε系統,沖水(shuǐ)系統,對(duì)石英管和 ↔ (hé)石英Boat及石英Parts進行(xíng)清洗。¥$設備主要(yào)是(shì)通(tōng)過化£>₩(huà)學試劑的(de)反應來(lái)去(qù)除物(wπ®ù)體(tǐ)表面的(de)Particle、Metal等雜(zá)質,設備δ¶"主體(tǐ)使用(yòng)進口10T PP闆材,充分(φδ₽₩fēn)考慮到(dào)設備長(cháng)期工(gōng)作(zuò)的(de)環境因素¶↕,可(kě)滿足在使用(yòng)中堅固耐用(yòn÷♥g),安全潔淨的(de)要(yào)求,在工(gōng)©♦藝使用(yòng)中,用(yòng)戶可(kě)以對(duì)時(shí)間(ji₽♣ān)、溫度和(hé)機(jī)械手進行(xíng)合理(lǐ)性£→的(de)設定,以達到(dào)生(shēng)産工(gα§∑ōng)藝的(de)要(yào)求。