爐管清洗機(jī),本設備利用(yòng)酸腐蝕系統,循環過≠©濾系統、沖水(shuǐ)系統,對(duì)8/12寸石英管/SIC/石☆γ♦♣英Boat及石英Parts進行(xíng)清洗。設備具有(yǒu)自(zì)動、手動操作(∞ zuò)轉換功能(néng),并可(kě)以對(duì)時(shí)間(jiā$→$↕n)速度進行(xíng)設定,模塊化(huà)軟件(jiàn)、硬件(jiàn)"σ設計(jì)、減少(shǎo)故障幾率,便于安裝和(hé)維護,配備漏電(di₹₩àn)斷路(lù)保護、漏液檢測、EMO開(★ ÷•kāi)關等安全保護裝置等