無機(jī)清洗10#機(jī)生(shēφγ≥ng)産主線為(wèi):混合腐蝕槽-1、混合腐蝕槽-2、QDR-1槽、QDR-2槽、QDR- ↑3槽、QDR-4槽（工(gōng)位上(shàng)方全隔斷，全透明(míng)，密封可(kě)拆&φ♣卸）共四個(gè)工(gōng)位，本設​≈↕備電(diàn)器(qì)**部分(fēn)關鍵←∏®γ件(jiàn)均采用(yòng)高(gāo)質量配件(jiàn)，性能(nén"αg)穩定，使用(yòng)壽命長(cháng)。本機(jī★♥$)台是(shì)一(yī)個(gè)人(rén₽')機(jī)界面加PLC**系統，操作(zuò)者隻↑∞↔須将6寸花(huā)籃放(fàng)置于治具上(shàng)©↔₹✔，再由PLC按照(zhào)事(shì)先輸入的(de)程∑γ序對(duì)Wafer進行(xíng)各工(gōng)藝處理(l±λβǐ)。