金(jīn)屬腐蝕機(jī)的(de)生(shēng)産主線為(wèi ∏¶®)：鋁腐蝕槽、金(jīn)屬酸刻蝕槽、QDR-1槽、三階溢流槽1、去β↔(qù)膠槽A、去(qù)膠槽B、IPA槽A、IPA槽B、三階溢流槽2≤β共10個(gè)制(zhì)程工(gōng)位槽。本設備電‍≥•↑(diàn)氣控制(zhì)部分(fēn)關鍵件×♣(jiàn)均采用(yòng)***部件(jiànε§<$)，性能(néng)可(kě)靠，使用(y∑€≠òng)壽命長(cháng)。本機(jī)台是(shì)一(yī)個(gè)人(r$ én)機(jī)界面加PLC系統，操作(zuò)者隻須要(yào)将*寸§φ♥>花(huā)籃放(fàng)進繪制(zhì)程工(gōng)藝槽內(nèi)，再由PLC按照(÷©¥zhào)事(shì)先輸入的(de)程序對(duì)Wafer進行(xíng)各工(gōn≤₹↕g)藝處理(lǐ)。