化(huà)學品分(fēn)配系統簡述

  化(huà)學品分(fēn)配系統是σ₩(shì)旨在将化(huà)學品和(hé)化(huà)學↑‌品輸送到(dào)用(yòng)于濕法處理(lǐ)晶圓的(de)生(shēn‍'g)産工(gōng)具。通(tōng)常，濕處理(lǐ)化(ε♦huà)學品通(tōng)過過濾器(qì)被泵送到(dào)儲罐中，然後将過濾的(d♦∑λ£e)化(huà)學品供給到(dào)工(gōng)廠(chǎng)中其他(tā)的(de)處>×理(lǐ)工(gōng)具。過濾流量通(tōng)常很(hěn)低(d​ •ī)，通(tōng)常是(shì)單程的≥♣σ(de)，意味著(zhe)這(zhè)些(xiē)化(hu♠‌←​à)學品隻被過濾一(yī)次。由于過濾器(qì)有(yǒu)一(yī)個(₩↓≈gè)或多(duō)個(gè)機(jī)會(huì)可(kě)以去(qù)除不(bù)需要(yào≈£)的(de)顆粒，所以應該使用(yòng)具有(yǒu)高(g••>₹āo)顆粒去(qù)除效率的(de)過濾器(qì)。

  XZC為(wèi)化(huà)學品≥<>£分(fēn)配提供理(lǐ)想選擇，這(zhè)些(xiē)過濾器(qì)專為(wèi)單通(t→πōng)道(dào)或小(xiǎo)流量系統而↓★Ωα設計(jì)，并針對(duì)較高(gāo)的(de)顆粒去(qù)除效率和(hé)清潔度進行(λ αxíng)了(le)優化(huà)。

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